真空鍍膜工作原理是膜體在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結晶。由于空氣對蒸發(fā)的膜體分子會(huì )產(chǎn)生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙無(wú)光,所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮,果如真空度不高結晶體就會(huì )失去光澤結合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發(fā)體自然散射,結合差工效低光澤差?,F在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發(fā)分子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜,解決了過(guò)去自然蒸發(fā)無(wú)法加工的膜體品種,如鍍鈦鍍鋯等等。
中頻設備必須加冷卻水,原因是它的頻率高電流大。電流在導體流動(dòng)時(shí)有一個(gè)集膚效應,電荷會(huì )聚集在電導有表面積,這樣使電導發(fā)熱所以采用中孔管做導體中間加水冷卻。
(主要是圓柱靶)為什么也要用水冷卻?磁控濺射靶在發(fā)射時(shí)會(huì )產(chǎn)生高溫會(huì )使射槍變形,所以它有一個(gè)水套來(lái)冷卻射槍。同時(shí)還有一個(gè)重要原因磁控濺射可以被認為是鍍膜技術(shù)中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結合力好。
從更深層次研究電子在非均勻電磁場(chǎng)中的運動(dòng)規律,探討了磁控濺射的更一般原理以及磁場(chǎng)的橫向不均勻性及對稱(chēng)性是磁約束的本質(zhì)原因。磁控濺射可以被認為是鍍膜技術(shù)中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結合力好、裝置性能穩定。
冷水機是一種水冷卻設備,能提供恒溫、恒流、恒壓的冷卻水設備。其工作原理是先向機內水箱注入一定量的水,通過(guò)制冷系統將水冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送入需冷卻的設備,冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱,達到冷卻的作用。冷卻水溫可根據要求自動(dòng)調節,長(cháng)期使用可節約用水。
冷水機能控制真空鍍膜機的溫度,以保證鍍件的高質(zhì)量。如果不配冷水機就不能使真空鍍膜機達到高精度、高效率控制溫度的目的,因為自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響,而且此方式控制是極不穩定的。
冷水機具有完全獨立的制冷系統,絕不會(huì )受氣溫及環(huán)境的影響,水溫在5℃~30℃范圍內調節控制,因而可以達到高精度、高效率控制溫度的目的,冷水機設有獨立的水循環(huán)系統。